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记者从苏州国投集团获悉,近日,国家级专精特新“小巨人”企业新美光(苏州)半导体科技有限公司完成新一轮融资数亿元,苏州国投集团下属企业苏州产业投资私募基金管理有限公司投资近亿元,并且联合多家机构共同参与投资,以国资资本助力半导体关键材料自主可控。
据介绍,新美光(苏州)半导体科技有限公司成立于2013年,是国内少数掌握超大尺寸半导体单晶硅材料生长到硅部件微纳加工全流程技术的企业。公司专注集成电路核心零部件研发与产业化,自主掌握超导磁场MCZ半导体级单晶硅棒生长技术,是国内首家成功研制450mm超大尺寸高品质半导体级单晶硅棒的企业,纯度达“11个9”(即99.999999999%,相当于5000吨的电子级多晶硅中总的杂质含量仅有不到一枚1元硬币的重量。),破解高端硅部件“卡脖子”难题。公司已形成从硅棒生长、精密加工、表面镀膜到电控系统集成的全产业链能力,产品广泛应用于等离子刻蚀先进制程。
在单晶硅棒方面,新美光采用MCZ超导磁场直拉法生长的超大尺寸半导体级单晶硅棒,最大直径可达485mm,单炉投炉量高达400KG,并持续研发更大尺寸的硅棒,其杂质含量极低,无晶格位错缺陷,电阻率均匀性好,生长良率高。单晶硅部件方面,先进制成集成电路等离子刻蚀用单晶硅部件是新美光的一大优势,其自主研发生产的单晶硅部件包含黄光、蚀刻、薄膜、沉积等工艺中所使用的聚焦环、硅电极、硅材料托盘、硅板等在内的部件,已经应用于国内诸多半导体厂商的生产工艺中。新美光的硅片业务,涵盖了全尺寸的定制化加工工艺,主要包含硅片研磨、抛光、减薄,倒角、laser marking等工艺,公司内部可以定制生产从100um到800um不等厚度,从2寸到12寸不等直径,以及各种高中低电阻硅片,其TTV、粗糙度等指标可达到SEMI标准要求。
苏产投成立于2025年5月,为苏州国投集团旗下私募股权投资基金管理机构,聚焦战新及未来产业,以专业资本运作培育重大项目,助力苏州打造世界级产业集群。新美光作为国内半导体核心零部件领域的标杆企业,在新一轮融资的加持下,将加速公司业绩增长,助力中国集成电路产业链自主可控。
(苏报融媒记者 陆晓华/文)