日前，沙钢集团抚顺特殊钢股份有限公司已实现半导体领域用316LVV超高纯不锈钢定制化生产，并先后向国内10多家半导体设备企业供货。该产品由抚顺特钢与中国科学院金属研究所联合攻关，历时5年、经历上千次试验研制成功。

沙钢集团抚顺特殊钢股份有限公司。抚顺特钢供图

316LVV超高纯不锈钢具有杂质含量低、耐腐蚀性强等特点，广泛应用于半导体装备制造、电子特气输送等领域。随着国内半导体产业快速发展，相关设备对高端原材料的需求持续增长。此前，316LVV超高纯不锈钢长期依赖进口，供应稳定性受到一定制约。

为改变这一局面，2021年，抚顺特钢组建科研团队，启动316LVV超高纯不锈钢自主研发。依托多年高纯不锈钢生产积累和现有工艺装备，团队从化学成分设计、夹杂物控制、耐点蚀性能以及放气率等关键指标入手展开攻关。

生产316LVV超高纯不锈钢的7000吨快锻机。抚顺特钢供图

2023年，抚顺特钢与中国科学院金属研究所开展合作。2024年3月，双方签订《超纯不锈钢技术许可合同》，并围绕冶炼工艺、成分控制和质量稳定性等关键环节持续攻关。同年5月，双方成功研制出性能达到国外同类产品水平的316LVV超高纯不锈钢，双真空工艺达到6吨级。

试制成功后，科研团队随即将产品送往半导体设备生产企业开展试用验证，并根据不同工况和客户反馈持续优化生产工艺。经过一年多改进，目前，抚顺特钢已能够根据客户需求，定制生产棒材、方材、扁材、异型材等不同规格的316LVV超高纯不锈钢。

“与国外进口同类产品相比，我们的316LVV产品纯净度和耐腐蚀性均提升10%以上，每吨售价降低3万元至5万元，交货时间缩短3个月以上。”抚顺特钢销售公司开发科业务经理崔博凯介绍，抚顺特钢316LVV超高纯不锈钢工艺一致性、质量稳定性达到国际先进水平，产能规模国内领先。

（苏报融媒记者 张东慧/文）